超聲波檢測技術是一種新興的無損檢測技術。超聲波是一種機械振動波，超聲波傳感器利用壓電材料的壓電效應可以檢測出這些聲波，從而反映局部放電的程度。根據聲能與放電能量之間的正比關系，用超聲波信號聲壓的變化來代表局部放電所釋放能量的變化，通過測量超聲波信號的聲壓推測放電的強弱，這就是超聲波信號檢測局部放電的基本原理。通過檢測局部放電產生的超聲波信號來判定局部放電的方法稱為局部放電的超聲波檢測法，其原理如圖所示。

開關柜局部放電超聲波檢測原理示意圖